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射频电源维修ADVANCED ENERGY RFG 5500

发布时间:2023-12-18        浏览次数:8        返回列表
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射频电源维修、对光伏企业生产设备如:刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种,功率包括:1KW1.5KW2KW10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修;PECVD所用的美国AE PEII 10K  AE PEII 5KAE射频电源维修;RF射频电源维修

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